Ø  半导体工艺制造中的高腐蚀性药液的温度控制：湿法刻蚀用药液， RCA清洗液， 曝光显影液等；

Ø  洁净：液体的冷却/加热部件采用高纯度特氟龙材料，无金属离子溶出；

Ø  安全：化学药液闭循环，附带药液及冷却水的泄露传感器,温度异常自动感知功能；

Ø  小型：小型化设计， 内置于湿法工艺等各种设备内部；

Ø  高效：电子元器件进行冷热控温，实现高精度控制；

Ø  人机交互性：操作触控屏人机交互、 PID控制、外部通信等功能。